Подробное описание документа

   Управление формой пучка технологического ионного источника для высокоточной обработки поверхности / Духопельников Д. В., Воробьев Е. В., Ивахненко С. Г., Кириллов Д. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Естественные науки. - 2017. - № 3. - С. 24-36.

УДК

537.5 Электронные и ионные явления. Разряды. Плазма. Излучения

Авторы МГТУ

• Духопельников Дмитрий Владимирович
• Воробьев Евгений Валентинович
• Ивахненко Сергей Геннадьевич
• Кириллов Даниил Вячеславович

Статья опубликована в следующих изданиях