Подробное описание документа
Щербаков А. Н.
Измерение характеристик МДП-структур после инжекционной модификации / Щербаков А. Н., Андреев В. В. // Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Калужский филиал, Калужский государственный университет им. К. Э. Циолковского. - 2013. - Т. 1. -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 1. - 2013. - 255 с. : ил. - Библиогр.
