Подробное описание документа

Статья

Андреев В. В., Столяров А. А., Ахмелкин Д. М.
Повышение надежности МДП-приборов путем инжекционно-термической обработки / Андреев В. В., Столяров А. А., Ахмелкин Д. М. // Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции / МГТУ им. Н. Э. Баумана. Калужский филиал, Калужский гос. ун-т им. К. Э. Циолковского. - 2013. - Т. 1. - С. 162-166.

УДК
621.315.592 Полупроводники

Авторы МГТУ

Андреев Владимир Викторович

Столяров Александр Алексеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 162-166

Наукоемкие технологии в приборо- и машиностроении и развитие инновационной деятельности в вузе : материалы Всероссийской научно-технической конференции / МГТУ им. Н. Э. Баумана. Калужский филиал, Калужский гос. ун-т им. К. Э. Циолковского. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2013. - ISBN 978-5-7038-3868-6.
Т. 1. - 2013. - 255 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-3869-3.

подробнее