Подробное описание документа

Кувыркин Г. Н., Савельева И. Ю., Журавский А. В.
   Численное моделирование газофазного осаждения с учетом диффузионных процессов / Кувыркин Г. Н., Савельева И. Ю., Журавский А. В. // Математическое моделирование. - 2017. - Т. 29, № 10. - С. 75-85.

Авторы МГТУ

• Кувыркин Георгий Николаевич
• Савельева Инга Юрьевна
• Журавский Александр Владимирович

Статья опубликована в следующих изданиях