Подробное описание документа

Пархутик В. П., Лабунов В. А.
Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике / Пархутик В. П., Лабунов В. А. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 279 с.-Библоиогр.: с. 252-276.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Производство

Анодирование

Общее кол-во в фондах
5 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313