Подробное описание документа

   Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах / Российская академия наук ; отв. ред. Раков А. В. - М. : Наука, 1995. - 162 с. - (Труды / Институт общей физики ; т. 49). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-000828-1.

УДК

537.53 Испускание излучения или частиц при разрядах

Предметные рубрики

• Микроскопия электронная

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313