Подробное описание документа

   Исследование механических характеристик однослойных и многослойных наноструктур на основе углеродных и фторуглеродных покрытий / Елинсон В. М., Щур П. А., Кириллов Д. В., Лямин А. Н., Сильницкая О. А. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2018. - № 4. - С. 69-73.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Авторы МГТУ

• Елинсон Вера Матвеевна
• Кириллов Даниил Вячеславович

Статья опубликована в следующих изданиях