Подробное описание документа

Чесноков В. В., Резникова Е. Ф., Чесноков Д. В.
   Лазерные наносекундные микротехнологии : [монография] / Чесноков В. В., Резникова Е. Ф., Чесноков Д. В. ; Сибирская гос. геодезическая академия (ФГБОУ ВПО "СГГА"). - Новосибирск : Изд-во СГГА, 2003. - 298 с. : ил. - Библиогр.: с. 281-298. - ISBN 5-87693-119-5.

Аннотация

Монография посвящена теоретическому и экспериментальному рассмотрению процессов микротехнологий, инициируемых лазерным импульсным облучением поверхностей различных подложек. Особое внимание уделено лазерно-пиролитическому осаждению пленок металлов при наносекундной длительности импульсов при давлении реакционной газовой среды на уровне атмосферного (в том числе в условиях открытой атмосферы).
В книге представлены обзоры исследований взаимодействия лазерного излучения с веществом в диапазоне параметров, соответствующих процессам микротехнологий (глава 1) и известных экспериментальных работ по методам лазерного химического осаждения пленок из паров летучих соединений (LCVD) (глава 2).
Основная часть монографии содержит оригинальный материал: - описание методик и результатов экспериментального исследования наносекундного лазерно-пиролитического осаждения пленочных микрорисунков (глава 3); - теоретический анализ процессов при наносекундном LCVD (глава 4); - первые итоги изучения твердофазных процессов на границе раздела пленка/подложка в условиях лазерного облучения (глава 5); - результаты исследований ударного механического воздействия наносекундного лазерного излучения на многослойные структуры и его формообразующих возможностей для применения в микротехнологии (глава 6).

УДК

621.373.826:539

Предметные рубрики

• Лазерное излучение - Взаимодействие с веществом

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л