Личный кабинет
Подробное описание документа
Устройство измерения чистоты поверхности / Гаврюшин С. С., Деулин Е. А., Поляков В. Б., Прохоров Е. П., Емельянов Г. А. - DOI 10.18698/0236-3933-2018-2-4-14 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2018. - № 2. -
Скачать документ
Рассмотрены физическая модель и техническая возможность реализации устройства для измерения числа монослоев газа, сорбированного на исследуемых поверхностях и рассматриваемого как загрязнение на молекулярном уровне. Число монослоев определено по силе страгивания двух полированных пластин относительно друг друга из положения статического контакта. Указано, что эта сила зависит от энергии взаимодействия молекул сорбата с поверхностью пластин. Приведены структурная схема устройства измерения чистоты поверхностей, принцип его работы, предполагаемые диаграммы сигналов с датчика, регистрируемых измерительным блоком, и внешний вид макета датчика. Наличие корреляции коэффициента покрытия поверхности сорбатом и факторов рабочей среды, давления над поверхностью, температуры и влажности подтверждается экспериментально полученными графиками, что свидетельствует о рабочей пригодности предложенного метода для измерения чистоты поверхностей
53.082.72 на использовании электростатических явлений (электростатических сил, емкости)
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 2. - 2018.
