Подробное описание документа

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 : учебное пособие / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. - 122 с. : ил. - ISBN 978-5-7038-4864-7.

Читать онлайн Аннотация

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Микроэлектронные приборы - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Общее кол-во в фондах

31 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
3. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
7. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345