Подробное описание документа

Моделирование технологических процессов микроэлектроники / Российская академия наук ; отв. ред. тома Махвиладзе Т. М. - М. : Наука, 1992. - 117 с. : рис. - (Труды/Физико-технологический институт ; т. 3). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006867-5.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Микроэлектроника

Общее кол-во в фондах
2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313