Подробное описание документа

   Возможности создания голограммных оптических элементов жидкостного травления кремниевых пластин / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Дроздова Е. А., Бетин А. Ю. // Контенант. - 2018. - Т. 17, № 3. - С. 69-75.

УДК

535.421 Плоские волны. Дифракционная решетка. Дифракционный спектр

Авторы МГТУ

• Одиноков Сергей Борисович
• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Дроздова Екатерина Андреевна
• Бетин Александр Юрьевич

Статья опубликована в следующих изданиях