Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Диссертация

Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 228 л. : ил. - Библиогр.: л. 165-179.

62-52 Автоматически контролируемые, регулируемые или управляемые машины и процессы
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л