Подробное описание документа

Куликов И. Н.
   Методика повышения эффективности использования кластерного оборудования в полупроводниковом производстве на основе имитационных моделей потоков полуфабрикатов : автореф. дис... ктн : 05. 13. 06 / Куликов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 17 с. : ил.

УДК

62-52 Автоматически контролируемые, регулируемые или управляемые машины и процессы

Предметные рубрики

• Полупроводниковые приборы - Производство - Оборудование - Диссертации

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л