Подробное описание документа
Тимашова Л. Н.
Оптико-электронная система для измерения сферической аберрации / Тимашова Л. Н., Кулакова Н. Н., Сазонов В. Н. - DOI 10.18698/0236-3933-2018-6-112-122 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2018. - № 6. -
Рассмотрена оптико-электронная система для измерения сферической аберрации объектива. Приведена функциональная схема системы, регистрирующей интерференционную картину, искаженную сферической аберрацией, на матричном приемнике излучения. По сравнению с известным методом Коттона — Линника использование оптико-электронной системы позволит повысить точность и производительность измерения, существенно расширит диапазон контролируемых изделий и избавит от индивидуальных особенностей зрения человека. Приведены формулы для габаритного и энергетического расчетов оптико-электронной системы и анализа возможности использования выбранного матричного приемника излучения. Рассмотрен пример габаритного и энергетического расчетов системы для контролируемого объектива с фокусным расстоянием f' = 100 мм. Приведена формула для вычисления погрешности измерения волновой аберрации с помощью оптико-электронной системы, в которой источником излучения является малогабаритный He-Ne-лазер. В рассмотренном примере погрешность составляет 0,1λ (λ = 0,6328 мкм). Приведена формула для пересчета волновой аберрации относительно сферы сравнения, совмещенной с гауссовой плоскостью, в поперечную сферическую аберрацию. Вычисления по этой формуле показали, что погрешность измерения поперечной сферической аберрации объектива на оптико-электронной системе с использованием матричного приемника излучения в 3–5 раз меньше погрешности, получаемой при использовании метода Коттонна — Линника (0,01...0,015 мм)
535.317.2 Оптические системы
