Подробное описание документа
Статья
Хриченко В.
Формирование наклонных плоскостей микрозеркал полимерных оптических волноводов / Хриченко В., Боброва Ю. С., Анисимов В. // Технологии в электронной промышленности. - 2017. - № 5. -