Подробное описание документа

   Исследование влияния величин расхода реагентов на однородность оксида кремния в процессе термического оксидирования монокристаллических кремниевых подложек / Власов Е. Ю., Шаховцев М. М., Васильев Д. -Д. С., Камарттинов А. И. // Все материалы. Энциклопедический справочник. - 2019. - № 4. - С. 17-20.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

• Власов Евгений Юрьевич

Статья опубликована в следующих изданиях