Подробное описание документа
Статья
Фомин М. В.
Повышение эффективности работы молекулярных ступеней со спиральными каналами гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса / Фомин М. В., Фомина И. М. // Вестник машиностроения. - 2019. - № 6. -
621.66 Машины ротационного типа (двигатели и рабочие машины)