Подробное описание документа
Демихов К. Е.
Алгоритм определения оптимального числа рабочих колес в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса / Демихов К. Е., Гордеева У. С., Очков А. А. - DOI 10.18698/0236-3941-2020-1-119-127 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2020. - № 1. -
Рассмотрено создание алгоритма для определения оптимального числа рабочих колес в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса. Такие насосы используются в качестве встраиваемых в хромато-масс-спектрометрах, где они обеспечивают процесс откачки в камере. Турбомолекулярные вакуумные насосы имеют ряд преимуществ перед другими средствами откачки, поскольку позволяют обеспечить заданные параметры откачки подбором оптимальной комбинации проточной части. Для решения этой задачи предложен алгоритм расчета минимального числа колес в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса, что обеспечит заданные откачные характеристики: быстроту действия и требуемую степень повышения давления. Алгоритм основан на известных аналитических зависимостях, описывающих процессы, протекающие в насосах такого типа, следовательно, имеет высокую вычислительную производительность. Определены соответствующие значения параметров проточной части, выбраны значения эмпирических коэффициентов и построены откачные характеристики первых двух рабочих колес насоса. Разработанный алгоритм может быть использован для оптимизации массогабаритных характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, что позволит значительно расширить область их применения
621.521 Вакуумные насосы. Воздушные насосы в целом. Создание давлений и вакуума
