Подробное описание документа
Статья
Серегина Е. В.
О моделировании распределений неосновных носителей заряда, генерированных широким электронным пучком в многослойных планарных полупроводниковых структурах / Серегина Е. В., Калманович В. В., Степович М. А. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2020. - № 7. -