Подробное описание документа

   Статья

Шупенев А. Е., Кривошеев А. В., Пономаренко С. П.
   Особенности распределения толщины DLC-пленок, получаемых методом импульсного лазерного осаждения / Шупенев А. Е., Кривошеев А. В., Пономаренко С. П. // Наукоемкие технологии в машиностроении. - 2020. - № 2. - С. 35-40.

УДК

621.375.826 Оптические мазеры (лазеры)

Авторы МГТУ

• Шупенев Александр Евгеньевич
• Кривошеев Александр Валерьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 35-40

   Журнал

   Наукоемкие технологии в машиностроении.
   № 2. - 2020.

подробнее