Личный кабинет
Подробное описание документа
Технология магнетронного нанесения высокобарьерного относительно кислорода наноразмерного покрытия из оксида алюминия на рулонную лавсановую пленку / Панченко В. П., Дьячков А. Л., Королев С. П., Кравчук К. С., Садогурский М. Н., Сейдман Л. А., Сорока А. М. - DOI 10.18698/0236-3941-2020-2-109-127 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение. - 2020. - № 2. -
Скачать документ
Приведены результаты разработки технологии реактивного магнетронного нанесения наноразмерного слоя оксида алюминия на рулонную лавсановую пленку, обеспечивающую малую (до 1 см3/(м2· 24 ч · 0,1 МПа) удельную проницаемость относительно кислорода. Приведены описание крупногабаритной установки магнетронного нанесения и оптимальные режимы ее работы, а также последовательность совершаемых операций. Установлено влияние различных параметров магнетронного нанесения оксида алюминия на характеристики наноразмерного слоя. Измерены толщины оксидных слоев в интервале 20...80 нм, шероховатость их поверхностей и определены их структуры и рельефы. Установлена экспериментальная зависимость удельной проницаемости относительно кислорода оксидного слоя на лавсановой подложке от его толщины в интервале 20...80 нм, дано ее качественное объяснение и определены удельные затраты электроэнергии Работа выполнена в АО "ИПК "Беседы" при частичной поддержке Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере (гос. контракт № 10474р/19532 от 04.06.2012 г.)
620.3 Нанотехнология
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 2. - 2020.
