Подробное описание документа

Статья

Жуков В. В., Степанов С. А.
Исследование процесса формообразования дисков-кристаллов при пескоструйной резке маскированных полупроводниковых подложек / Жуков В. В., Степанов С. А. // Производительность и надёжность технологических систем в машиностроении : сборник научных трудов Международной научно-технической конференции, посвящённой 85-летию со дня рождения Волчкевича Л. И., Москва, 20-23 мая 2015 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Международный союз машиностроителей ; науч. ред. Прейс В. В., Волчкевич И. Л. - М. ; Тула, 2015. - С. 334-340.

УДК
53.084 Конструкции измерительных приборов. Основные детали

Авторы МГТУ

Жуков Владимир Викторович

Степанов Степан Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 334-340

Производительность и надёжность технологических систем в машиностроении : сборник научных трудов Международной научно-технической конференции, посвящённой 85-летию со дня рождения Волчкевича Л. И., Москва, 20-23 мая 2015 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Международный союз машиностроителей ; науч. ред. Прейс В. В., Волчкевич И. Л. - М. ; Тула : Изд-во ТулГУ, 2015. - 374 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7679-3096-8.

подробнее