Подробное описание документа
Статья
Адамова А. А.
Прецизионный сенсор давления на базе монокристаллического кремния / Адамова А. А., Цивинская Т. А. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2020. - № 9. -
621.3.049.774 Полупроводниковые интегральные схемы. Твердые схемы. Монолитные схемы