Подробное описание документа
Статья
Филиппов И. А.
Плазмохимическое травление тонких пленок серебра для приложений плазмоники индуктивно-связанной аргоновой плазмой / Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2020. - № 4. -
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника