Подробное описание документа

   Статья

Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А.
   Плазмохимическое травление тонких пленок серебра для приложений плазмоники индуктивно-связанной аргоновой плазмой / Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2020. - № 4. - С. 165-180.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Авторы МГТУ

• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 165-180

   Журнал

   Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
   № 4. - 2020.

подробнее