Подробное описание документа

Статья

Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А.
Плазмохимическое травление тонких пленок серебра для приложений плазмоники индуктивно-связанной аргоновой плазмой / Филиппов И. А., Великовский Л. Э., Шахнов В. А. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2020. - № 4. - С. 165-180.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 165-180

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
№ 4. - 2020.

подробнее