Подробное описание документа

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкоплёночных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 38. - ISBN 978-5-7038-5369-6.

Читать онлайн

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/6888/

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/378421

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/205373

Аннотация

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкоплёночных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкоплёночного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

УДК

612.3.049.75:776 Печатные схемы, изготовленные фотолитографическим способом

Предметные рубрики

• Фотолитография - Лабораторная практика

Авторы МГТУ

• Боброва Юлия Сергеевна
• Цветков Юрий Борисович

Общее кол-во в фондах

11 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
3. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

Боброва, Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : учебное пособие / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020. — 44 с. — ISBN 978-5-7038-5369-6.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Лань»

подробнее