Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Царегородцев А. В.
Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления : 05. 13. 01 : автореф. дис... ктн / Царегородцев А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1999. - 16 с.
1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Абонемент научной литературы УЛК, УЛК, ауд. 119л