Подробное описание документа

Андроник М. М.
   Метод синтеза базовых технологических процессов микроэлектромеханических систем на основе конструктивно-технологической онтологии : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Андроник М. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2021. - 183 л. : ил. - Библиогр.: л. 157-175.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Микроэлектронные приборы - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л