Подробное описание документа

   Физические методы нанесения нанопокрытий : учебное пособие для вузов / Мухин В. С., Будилов В. В., Шехтман С. Р. [и др.] ; ред. Мухин В. С., Шехтман С. Р. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Юрайт, 2021. - 331 с. : рис., табл. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 328-331. - ISBN 978-5-534-13807-8.

Рассмотрены физические методы нанесения нанопокрытий, нанотехнологии обработки поверхностей деталей на основе вакуумных ионно-плазменных методов. Приведены критерии и требования к нанотехнологии. Сформулированы задачи, которые могут быть решены в машиностроении путем использования нанотехнологий. Приведен анализ возможности использования ионных, электронных и плазменных методов обработки для решения указанных задач. Рассмотрена термодинамическая модель зарождения и роста покрытий, показана возможность получения наноструктурных материалов путем осаждения слоевых композиций в условиях ионной бомбардировки. Приведены закономерности роста наноструктурированных покрытий и их физико-химические свойства. Описаны технические решения, позволяющие использовать принципы нанотехнологий в области машиностроения на основе вакуумных ионно-электронно-плазменных методов.
Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования.
Курс предназначен для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области ионно-электронно-плазменных технологий.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Применение вакуума

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313