Подробное описание документа
Ланина Э. П.
Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.:
В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных ЗБ-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и ЗБ-технологий, технологии производства микросхем из графена.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Информатика и вычислительная техника», «Автоматизация технологических процессов и производств», может быть полезно для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы2 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313