Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Ланина Э. П.
   Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для вузов / Ланина Э. П. - Старый Оскол : ТНТ, 2020. - 310 с. : ил. - Библиогр.: с. 309-310. - ISBN 978-5-94178-646-6.

В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных ЗБ-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и ЗБ-технологий, технологии производства микросхем из графена.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Информатика и вычислительная техника», «Автоматизация технологических процессов и производств», может быть полезно для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
2 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313