Подробное описание документа

Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С.
   Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий : монография / Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Метель А. С. - М. : КУРС, 2021. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 161-174. - ISBN 978-5-906923-01-1.

В монографии рассматриваются источники широких пучков быстрых нейтральных атомов газа и потоков атомов металла для обработки поверхности изделий. Излагаются физические основы генерации используемого в них плазменного эмиттера ионов в тлеющем разряде с электростатическим удержанием электронов. Описаны источники для синтеза покрытий на изделиях сложной геометрической формы из диэлектрических материалов с единой эмиссионной сеткой для атомов металла и сопровождающих их быстрых атомов газа. Анализируются результаты применения источников для активации поверхности перед осаждением покрытий на изделия из любых материалов, травления поверхности диэлектриков, осаждения и удаления износостойких покрытий.
Книга предназначена студентам и аспирантам, специализирующимся в области ионно-плазменной обработки материалов.

УДК

621.793.18 Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)

Предметные рубрики

• Металлизация в вакууме

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л