Личный кабинет
Подробное описание документа
Тимашова Л. Н.
Анализ интерферометра с микрозеркалом на светоделительном кубике / Тимашова Л. Н., Кулакова Н. Н. - DOI 10.18698/0236-3933-2021-3-129-143 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2021. - № 3. -
Скачать документ
Контроль формы поверхности оптической детали интерференционным способом стал неотъемлемой частью процесса их формообразования. Интерферометрия позволяет при точно сфокусированном интерферометре получить интерференционную картину, подобную топографической карте профиля ошибок исследуемой волновой поверхности. Интерферометр должен формировать карту оптической поверхности с высокой точностью — допустимое искажение интерференционной полосы, вызванное ошибкой интерферометра, не должно превышать 0,1 величины искажения, вызванного погрешностью на контролируемой поверхности. Выполнен теоретический анализ зависимости процесса формирования интерференционной картины от погрешностей установки компонентов интерферометра, т. е. дефокусировки, с использованием преобразований Фурье. Анализ проведен для интерферометра, содержащего лазерный осветитель, вогнутое сферическое зеркало с центральным отверстием, соосным осветителю, светоделительный элемент в виде куб-призмы с полупрозрачной гипотенузной гранью. На первой плоской грани куб-призмы выполнено микросферическое вогнутое зеркало, центр которого располагается на оптической оси интерферометра. Приведена методика расчета дефокусировки контролируемого сферического зеркала и соответствующей ей волновой аберрации рабочего волнового фронта. Приведен пример расчета конструктивных параметров интерферометра и допустимой дефокусировки контролируемого сферического зеркала
535.317.2 Оптические системы
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 3. - 2021.
