Подробное описание документа
Михайлов В. П.
Механизмы прецизионных перемещений : учебное пособие / Михайлов В. П., Базиненков А. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. - 209 с. : рис., табл. - Библиогр.:
Приведены методы анализа, выбора и расчёта прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учётом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».
681 Точная механика. Автоматика21 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345