Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Ханбеков И. Ф.
Сокращение времени термовакуумной обработки магнетронов миллиметрового диапазона длин волн за счёт ультразвукового активирования диффузионных и десорбционных процессов : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Ханбеков И. Ф. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2021. - 16 с.
621.385 Электронные лампы. Высоковакуумные термокатодные лампы2 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л