Подробное описание документа

Королева А. Н.
   Разработка научно-методических основ управления качеством базовых технологий, используемых при проектировании и производстве сверхбольших интегральных схем : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореф. дис... ктн / Королева А. Н. ; Научно-исследовательский ин-т молекулярной электроники (АО "НИИМЭ"). - М., 2021. - 16 с.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л