Подробное описание документа

Деулин Е. А., Михайлов В. П., Базиненков А. М.
   Расчёт вакуумных систем технологического оборудования : учебно-методическое пособие / Деулин Е. А., Михайлов В. П., Базиненков А. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 100 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 74. - ISBN 978-5-7038-5813-4.

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/7385/

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчёта длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчёта сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки.
Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

УДК

621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы

Предметные рубрики

• Вакуумные установки - Домашние задания

Авторы МГТУ

• Деулин Евгений Алексеевич
• Михайлов Валерий Павлович
• Базиненков Алексей Михайлович

Общее кол-во в фондах

88 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313