Подробное описание документа

Бодров Е. Э.
   Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Бодров Е. Э. - М. ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 201 с. : рис. - Библиогр.: с. 198. - ISBN 978-5-9729-0846-2.

Читать онлайн Аннотация

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Проектирование - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л