Личный кабинет
Подробное описание документа
Тимашова Л. Н.
Интерферометр для контроля выпуклых гиперболических поверхностей малого диаметра / Тимашова Л. Н., Кулакова Н. Н. - DOI 10.18698/0236-3933-2022-3-115-130 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2022. - № 3. -
Скачать документ
Выполнен теоретический анализ зависимости процесса формирования интерференционной картины в лабораторном лазерном интерферометре Физо от погрешности рабочего волнового фронта с использованием преобразований Фурье. Интерферометр предназначен для контроля выпуклых гиперболических поверхностей с небольшим диаметром и малым апертурным углом. Указана область их применения. Интерферометр состоит из лазерного осветителя, микрообъектива, светоделительного элемента в виде тонкой плоскопараллельной пластинки с полупрозрачным покрытием на передней поверхности и экрана. Тонкая полупрозрачная пластинка, расположенная перпендикулярно линии, соединяющей геометрические фокусы гиперболической поверхности, одновременно выполняет роль разделительного элемента и эталона. Приведены основные зависимости, описывающие положение оптических элементов в схеме интерферометра и волновой аберрации рабочей ветви. Приведен пример аберрационного расчета рабочей ветви интерферометра. На основании этого расчета выявлено, что при малых апертурных углах аберрациями тонкой плоскопараллельной пластинки можно пренебречь. Интерферометр формирует карту оптической поверхности с высокой точностью — искажение интерференционной полосы, вызванное ошибкой интерферометра, не превышает 0,1 значения искажения, вызванного погрешностью на контролируемой поверхности. Интерферометр обеспечивает высокоточный контроль гиперболических поверхностей при очевидной простоте конструкции Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Тимашова Л.Н., Кулакова Н.Н. Интерферометр для контроля выпуклых гиперболических поверхностей малого диаметра. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2022, № 3 (140), с. 115–130. DOI: https://doi.org/10.18698/0236-3933-2022-3-115-130
535.317.2 Оптические системы
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 3. - 2022.
