Подробное описание документа
Аналитическое описание
Шупенев А. Е.
Развитие процесса импульсного лазерного осаждения наноразмерных структур / Шупенев А. Е., Григорьянц А. Г. // Лазерные технологии в машиностроении : юбилейный сборник статей (1981-2021 гг) / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; общ. ред. Григорьянц А. Г. - М., 2022. -
539.234 испарением и конденсацией
