Подробное описание документа

Статья

Шупенев А. Е., Григорьянц А. Г.
Развитие процесса импульсного лазерного осаждения наноразмерных структур / Шупенев А. Е., Григорьянц А. Г. // Лазерные технологии в машиностроении : юбилейный сборник статей (1981-2021 гг) / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т) ; общ. ред. Григорьянц А. Г. - М., 2022. - С. 125-136.

УДК
539.234 испарением и конденсацией

Авторы МГТУ

Шупенев Александр Евгеньевич

Григорьянц Александр Григорьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 125-136

Лазерные технологии в машиностроении : юбилейный сборник статей (1981-2021 гг) / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т) ; общ. ред. Григорьянц А. Г. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 153 с. : рис. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-5886-8.

подробнее