Подробное описание документа

Марахтанов М. К.
   Магнетронные системы ионного распыления (Основы теории и расчета) : Учебное пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ионного распыления / Марахтанов М. К. ; ред. Гришин С. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ, 1990. - 75 с. - Библиогр.: с. 74-75. - ISBN 5-7038-0291-1.

Авторы МГТУ

• Марахтанов Михаил Константинович

Общее кол-во в фондах

5 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313