Личный кабинет
Подробное описание документа
Краснов Д. И.
Интерференционный метод контроля выпуклых гиперболических поверхностей с использованием дифракционного оптического элемента / Краснов Д. И., Нгуен С. Ч., Дружин В. В. - DOI 10.18698/0236-3933-2022-4-80-91 // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2022. - № 4. -
Скачать документ
Интерференционные методы контроля позволяют с высокой точностью оценить погрешности формы профиля поверхности оптических деталей. Обработка интерференционной картины позволяет получить карту отклонений поверхности в каждой ее точке с точностью до половины длины волны. Предложен интерференционный метод контроля выпуклых гиперболических поверхностей, с помощью которого можно контролировать зеркала с большими апертурными углами в мнимом геометрическом фокусе. Предлагаемая автоколлимационная схема контроля состоит из гелий-неонового лазера с длиной волны 632,8 нм, менисковой линзы и планарного осесимметричного дифракционного оптического элемента для коррекции сферической аберрации мениска. Приведен численный метод расчета дифракционного оптического элемента с помощью фазового профиля на примере вторичного гиперболического зеркала космического телескопа "Миллиметрон". Проведено моделирование разработанной схемы в программе Zemax OpticStudio. Выполнена оценка погрешности аппроксимации рассчитанного фазового профиля в зависимости от числа фазовых коэффициентов. Предложена оптическая система интерферометра Физо для реализации разработанного метода. Определено влияние погрешности установки контролируемого зеркала на интерференционную картину для осевого смещения, поперечного смещения и наклона. Выполнена оценка остаточной волновой аберрации в системе контроля Просьба ссылаться на эту статью следующим образом: Краснов Д.И., Нгуен С.Ч., Дружин В.В. Интерференционный метод контроля выпуклых гиперболических поверхностей с использованием дифракционного оптического элемента. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение, 2022, № 4 (141), с. 80–91. DOI: https://doi.org/10.18698/0236-3933-2022-4-80-91
681.787.7 Специальные интерферометры (интерферометр с кубическим угловым отражателем, интерферометр с уголковым отражателем, двух- и трехщелевые интерферометры, интерферометр Брюстера, интерферометры трехзеркальные, с пробными стеклами, звездный интерферометр, интерферометр сдвига)
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 4. - 2022.
