Подробное описание документа
Статья
Куприянов С. О.
Методы и устройства оптического контроля параметров тонкопленочных покрытий / Куприянов С. О., Новиков Ю. Н. // Технология производства электронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. - М., 1989. - (Труды / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; № 538). -
681.3 (Вычислительная техника. Машины и устройства для обработки данных. Автоматическая обработка данных. Электронные вычислительные машины (ЭВМ). Калькуляторы)