Подробное описание документа

Статья

Куприянов С. О., Новиков Ю. Н.
Методы и устройства оптического контроля параметров тонкопленочных покрытий / Куприянов С. О., Новиков Ю. Н. // Технология производства электронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. - М., 1989. - (Труды / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; № 538). - С. 67-100.

УДК
681.3 (Вычислительная техника. Машины и устройства для обработки данных. Автоматическая обработка данных. Электронные вычислительные машины (ЭВМ). Калькуляторы)

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 67-100

Технология производства электронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. - М. : Изд-во МВТУ, 1989. - 153 с. : рис., табл. - (Труды / МГТУ им. Н. Э. Баумана ; № 538). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-7038-0091-9.

подробнее