Подробное описание документа
Статья
Деулин Е. А.
Проблемы разработки сверхвысоковакуумного привода / Деулин Е. А. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц