Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Проблемы испытаний и аттестации прецизионного оптико-механического оборудования микролитографии / Цветков Ю. Б. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - С. 55-66.

УДК
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 55-66

Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1987. - 126 с. : рис. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - Библиогр. в конце статей.

подробнее