Подробное описание документа
Статья
Фролов А. И.
Теоретическая и экспериментальная оценка влияния вакуумных механизмов на загрязняемость изделий микроэлектроники / Фролов А. И., Гусаров В. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 82-90
Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1987. - 126 с. : рис. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - Библиогр. в конце статей .