Подробное описание документа

   Статья

Фролов А. И., Гусаров В. В.
   Теоретическая и экспериментальная оценка влияния вакуумных механизмов на загрязняемость изделий микроэлектроники / Фролов А. И., Гусаров В. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - С. 82-90.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 82-90

   Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1987. - 126 с. : рис. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - Библиогр. в конце статей.

подробнее