Подробное описание документа
Минько К. Р.
Исследование и моделирование технологического процесса получения фотонно-кристаллических гетероструктур при осаждении функционального материала / Минько К. Р., Медведева О. М. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 14-я, Москва, 21-24 сентября 2021 г. : cборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2021. - Т. 1. -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 1. - 2021. - 535 с. : ил. - Библиогр.