Подробное описание документа
Статья
Камышная Э. Н.
Автоматизированная система управления опытным производством ЭА / Камышная Э. Н., Скачкова С. А., Жебрун С. Н. // Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1986. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц