Подробное описание документа

   Статья

Скворцов К. Ф., Барзов А. А., Удальцов Е. В.
   Технологическая диагностика финишного химико- механического полирования методом акустической эмиссии / Скворцов К. Ф., Барзов А. А., Удальцов Е. В. // Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1986. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). - С. 67-73.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

• Барзов Александр Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 67-73

   Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1986. - 80 с. : ил. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). - Библиогр. в конце статей.

подробнее