Подробное описание документа
Статья
Скворцов К. Ф.
Технологическая диагностика финишного химико- механического полирования методом акустической эмиссии / Скворцов К. Ф., Барзов А. А., Удальцов Е. В. // Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1986. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 67-73
Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1986. - 80 с. : ил. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). - Библиогр. в конце статей .