Подробное описание документа

Статья

Новиков Ю. Н., Куприянов С. О.
Автоматизация оптического контроля параметров пленочных покрытий с использованием метода суммирования интенсивностей / Новиков Ю. Н., Куприянов С. О. // Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1986. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). - С. 73-80.

УДК
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 73-80

Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры : сборник статей / ред. Белов Б. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1986. - 80 с. : ил. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 455). - Библиогр. в конце статей.

подробнее