Подробное описание документа
Статья
Сафронов В. В.
Исследование влияния "ориентированной" наклейки кремниевых пластин на величину их прогиба / Сафронов В. В. // Технологическое обеспечение качества приборов : сборник статей / ред. Сыроватченко П. В. - М., 1985. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 447). -
681.2 Приборостроение. Измерительная техника. Весы